résolution optique de lithographie

résolution optique de lithographie
fotolitografijos skyra statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical lithographic resolving power; photolithographic resolution vok. fotolithografische Auflösung, f; fotolithografisches Auflösungsvermögen, n rus. разрешающая способность фотолитографии, f pranc. résolution de photolithographie, f; résolution optique de lithographie, f

Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. . 2000.

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  • fotolitografijos skyra — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical lithographic resolving power; photolithographic resolution vok. fotolithografische Auflösung, f; fotolithografisches Auflösungsvermögen, n rus. разрешающая способность фотолитографии,… …   Radioelektronikos terminų žodynas

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