résolution optique de lithographie
- résolution optique de lithographie
- fotolitografijos skyra
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. optical lithographic resolving power; photolithographic resolution
vok. fotolithografische Auflösung, f; fotolithografisches Auflösungsvermögen, n
rus. разрешающая способность фотолитографии, f
pranc. résolution de photolithographie, f; résolution optique de lithographie, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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